氣體圈子訊：三孚股份1月19日發(fā)布公告稱，產(chǎn)500噸電子級(jí)二氯二氫硅及年產(chǎn)1000噸電子級(jí)三氯氫硅項(xiàng)目于2020年11月13日正式投料試車(chē)，目前所有工藝流程均已正常順利打通；2020年12月中旬，產(chǎn)品電子級(jí)二氯二氫硅以及電子級(jí)三氯氫硅已經(jīng)產(chǎn)出；2021年1月18日，產(chǎn)品已經(jīng)順利試充裝，代表項(xiàng)目工藝試車(chē)成功。

三孚股份2018年第一次臨時(shí)股東大會(huì)審議通過(guò)了《關(guān)于通過(guò)全資子公司唐山三孚電子材料有限公司投資建設(shè)年產(chǎn)500噸電子級(jí)二氯二氫硅及年產(chǎn)1000噸電子級(jí)三氯氫硅項(xiàng)目的議案》，同意公司通過(guò)全資子公司唐山三孚電子材料有限公司投資建設(shè)“年產(chǎn)500噸電子級(jí)二氯二氫硅及年產(chǎn)1000噸電子級(jí)三氯氫硅項(xiàng)目”，項(xiàng)目預(yù)計(jì)投資總額 28724萬(wàn)元。

據(jù)悉，二氯二氫硅主要是半導(dǎo)體制造中作為硅源，常用于多晶硅外延生長(zhǎng)以及化學(xué)氣相沉積二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氫硅和四氯化硅高，沉積硅更有效，且淀積所需的溫度比其他氯硅烷低，在降低溫度下沉積厚層所需時(shí)間大大低于采用硅烷所需時(shí)間。由于沉積速率與采用其他氯硅烷相比對(duì)溫度敏感性小，因此可以采用調(diào)節(jié)氫氣流中二氯二氫硅濃度的方法來(lái)控制沉積速率，而且不會(huì)出現(xiàn)鼓泡所帶來(lái)的不準(zhǔn)確性和機(jī)械問(wèn)題。目前，二氯二氫硅和三氯氫硅主要供應(yīng)商包括日本信越、大陽(yáng)日酸、默克和液化空氣，國(guó)內(nèi)如國(guó)順硅源和三孚電子等。2019年全年半導(dǎo)體所用含硅氣體及含硅前驅(qū)體市場(chǎng)規(guī)模約為9.6億美元，國(guó)內(nèi)含硅電子氣體（含硅前驅(qū)體）基本都需要依賴國(guó)外進(jìn)口，進(jìn)口替代空間廣闊。